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http://dx.doi.org/10.18419/opus-14810
| Autor(en): | Bienert, Florian Graf, Thomas Abdou Ahmed, Marwan |
| Titel: | General mathematical model for the period chirp in interference lithography |
| Erscheinungsdatum: | 2023 |
| Dokumentart: | Zeitschriftenartikel |
| Seiten: | 5334-5346 |
| Erschienen in: | Optics express 31 (2023), pp. 5334-5346 |
| URI: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-148294 http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/14829 http://dx.doi.org/10.18419/opus-14810 |
| ISSN: | 1094-4087 |
| Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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