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http://dx.doi.org/10.18419/opus-4355
| Autor(en): | Leonhardt, Klaus Jordan, Hans-Joachim Tiziani, Hans J. |
| Titel: | Micro-ellipso-height-profilometry |
| Erscheinungsdatum: | 1991 |
| Dokumentart: | Zeitschriftenartikel |
| Erschienen in: | Optics communications 80 (1991), S. 205-209. URL http://dx.doi.org./10.1016/0030-4018(91)90251-8 |
| URI: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61511 http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4372 http://dx.doi.org/10.18419/opus-4355 |
| Zusammenfassung: | A new instrumental concept for surface measurement is described. In Micro-Ellipso-Height-Profilometry three independent profiles h(x), ψ(x) and Δ(x) of a surface are measured from one diffraction limited scanning spot. The basic equations for the extraction of these three quantities are derived and first results are discussed. |
| Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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