Dual wavelength heterodyne interferometry for rough surface measurements

Fischer, Edgar; Sodnik, Zoran; Ittner, Thomas; Tiziani, Hans J.

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DC Element	Wert	Sprache
dc.contributor.author	Fischer, Edgar	de
dc.contributor.author	Sodnik, Zoran	de
dc.contributor.author	Ittner, Thomas	de
dc.contributor.author	Tiziani, Hans J.	de
dc.date.accessioned	2011-03-21	de
dc.date.accessioned	2016-03-31T08:16:34Z	-
dc.date.available	2011-03-21	de
dc.date.available	2016-03-31T08:16:34Z	-
dc.date.issued	1990	de
dc.identifier.other	366636197	de
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61433	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4394	-
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-4377	-
dc.description.abstract	For interferometric topography measurements of optically rough surfaces dual wavelength heterodyne Interferometry (DWHI) is a powerful tool. A DWHI system based on a two-wavelength HeNe laser and a matched grating technique is described. This set-up improves system stability and simple heterodyne frequency generation.	en
dc.language.iso	en	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.classification	Interferometrie , Optische Messtechnik	de
dc.subject.ddc	530	de
dc.title	Dual wavelength heterodyne interferometry for rough surface measurements	en
dc.type	conferenceObject	de
dc.date.updated	2012-07-03	de
ubs.fakultaet	Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik	de
ubs.institut	Institut für Technische Optik	de
ubs.opusid	6143	de
ubs.publikation.source	Lanzl, F. (Hrsg.): Optics in complex systems : Proceedings of the 15th Congress of the International Commission for Optics. Bellingham, Wash. : SPIE, 1990 (Proceedings / SPIE 1319). - ISBN 0-8194-0380-6, S. 570-571	de
ubs.publikation.typ	Konferenzbeitrag	de
Enthalten in den Sammlungen:	07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik

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