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http://dx.doi.org/10.18419/opus-6281
| Autor(en): | Uskov, V. A. Erofeeva, E. A. Lineva, N. A. |
| Titel: | Niedertemperaturdiffusion von Siliziumverunreinigungen |
| Erscheinungsdatum: | 1985 |
| Dokumentart: | Verschiedenartige Texte |
| Erschienen in: | Originaltext erschienen in: Liegirovannye poluprovodniki (1982), S. 110-114 |
| URI: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-38044 http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/6298 http://dx.doi.org/10.18419/opus-6281 |
| Zusammenfassung: | In der Arbeit werden die Versuchsergebnisse der Verfasser zur Niedertemperaturdiffusion der Nebengruppenelemente I (Au, Ag), VI (Cr) und VII (Ni, pd) des Periodensystems in Si verallgemeinert dargestellt. Die Problemstellung ergab sich aus der Bedeutung, die die Niedertemperaturdiffusion in der neuen Technologie der Festphasenepitaxie des Siliziums spielt, aber auch aufgrund der Erscheinungen, die die physikalische Zuverlässigkeit der elektronischen Bauteile bestimmen. |
| Enthalten in den Sammlungen: | 13 Zentrale Universitätseinrichtungen |
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