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http://dx.doi.org/10.18419/opus-6420
Autor(en): | Ljutovic, Abram Srulevic |
Titel: | Die wichtigsten Gesetzmäßigkeiten des Wachstums von Filmen und epitaktischen Schichten aus Ionenmolekularströmen |
Erscheinungsdatum: | 1999 |
Dokumentart: | Verschiedenartige Texte |
Erschienen in: | Originaltext erschienen in: Ljutovic, Abram Srulevic: Ionno-aktivirovannaja kristallizacija plenok. Taskent : FAN, 1982, S. 79-92 |
URI: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-82081 http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/6437 http://dx.doi.org/10.18419/opus-6420 |
Zusammenfassung: | Hier werden charakteristische Forschungsergebnisse verschiedener Autoren dargestellt, die die Vorgänge der Metallschichtabscheidung und Kristallisation von Halbleiter-Epitaxieschichten aus Ionenmolekularströmen untersucht haben. Dabei widmen wir den Untersuchungen zum Wachstum von Halbleiter-Einkristallschichten besondere Aufmerksamkeit. |
Enthalten in den Sammlungen: | 13 Zentrale Universitätseinrichtungen |
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