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http://dx.doi.org/10.18419/opus-9198
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DC Element | Wert | Sprache |
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dc.contributor.advisor | Burghartz, Joachim N. (Prof. Dr.-Ing.) | - |
dc.contributor.author | Jurisch, Michael | - |
dc.date.accessioned | 2017-08-15T10:28:27Z | - |
dc.date.available | 2017-08-15T10:28:27Z | - |
dc.date.issued | 2017 | de |
dc.identifier.other | 492455198 | - |
dc.identifier.uri | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-92157 | de |
dc.identifier.uri | http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/9215 | - |
dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.18419/opus-9198 | - |
dc.language.iso | de | de |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | de |
dc.subject.ddc | 530 | de |
dc.subject.ddc | 600 | de |
dc.subject.ddc | 620 | de |
dc.title | Ablenk-Systeme für die Multi-Elektronenstrahllithografie auf Basis CMOS-kompatibler Fertigungsprozesse | de |
dc.type | doctoralThesis | de |
ubs.dateAccepted | 2017-05-29 | - |
ubs.fakultaet | Externe wissenschaftliche Einrichtungen | de |
ubs.institut | Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) | de |
ubs.publikation.seiten | 186 | de |
ubs.publikation.typ | Dissertation | de |
ubs.thesis.grantor | Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik | de |
Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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