(1984) Leonhardt, Klaus; Kaufmann, Ekkehart; Tiziani, Hans J.
A new procedure to determine simultaneously a horizontal descriptor of the surface - the autocorrelation width - and the most important vertical descriptor - the root-mean-square roughness - is presented. It is based on the inversion of an analytic contrast formula. After a short introduction to white light random phase contrast measurement we describe the elimination process and show first experimental verifications.
(1992) Diao, Hongyan; Peng, Xiang; Zou, Yunlu; Tiziani, Hans J.; Chen, L.
Es wird eine neue Konturing-Methode mit einer elektronischen Zweiwellenlängen-Speckle-Interferometrie (TWESPI) vorgeschlagen, bei der zwei Beleuchtungsstrahlen verwendet werden. Die optisch rauhe Oberfläche wird bei einer synthetischen längeren equivalenten Wellenlänge vermessen, so daß durch die Änderung der Wellenlängen eine variable Meßempfindlichkeit erhalten werden kann. Dadurch erweitert diese Technik den Meßbereich der Einwellen-Speckle-Interferometrie und erlaubt die Messung von Konturen steiler Profile als bisher mit der Einwellenlängen-Methode möglich war.
